蔡司ZEISS 場發(fā)射掃描電鏡Gemini系列詳細(xì)說明：

蔡司ZEISS 場發(fā)射掃描電鏡Gemini系列充分利用 Gemini 電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計GeminisEM 系列產(chǎn)品基于成熟的蔡司Gemini 技術(shù)，此項技術(shù)已有超過 25 年的使用歷史。

這一系列配備有完整高效的探測系統(tǒng)，并具有出色的分辨率和易用性等特點Gemini 物鏡的設(shè)計結(jié)合了靜電場與磁場，在提升光學(xué)性能的同時將它們對樣品的影響降至least。因此，即便是要求苛刻的樣品--如磁性材料，也能進(jìn)行高品質(zhì)成像。在 Gemini鏡筒設(shè)計理念中，Inlens 用二次電子(SE)和背散射電子(BSE)探測器來確保高效的信號檢測。Inlens 探測器均放置在鏡筒內(nèi)正光軸上，在減少重新校準(zhǔn)耗時的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。

Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以保證在非常低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比此外，它確保了電子束在鏡筒中運動時始終保持高加速電壓，直至出鏡筒后才減速至設(shè)定電壓，更大程度地減小外部雜散磁場對系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360、GeminiSEM 460和 GeminiSEM 560三者均應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計、Inlens 探測器和電子束推進(jìn)器技術(shù)。